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详情描述
测试样品所在衬底大小 |
4 英寸、6 英寸、8英寸 |
薄膜种类 |
AlN |
工艺类型 |
Thermal_ALD |
样品所处温度范围 |
高低温均可(详细要求请留言) |
表面粗糙度 Ra |
0.28 |
1-σ(%) |
<2 |
GPC/(A°) |
0.95 |
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AIN PE_ALD
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Al2O3 PE_ALD
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